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在碟片離心機中真空泵油不僅作為獲得真空的介質，還對機械摩擦點起潤滑和密封作用。
由于真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。真空泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和粘溫特性。
真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，尤其擴散泵往往處于很高的溫度環境下工作，使系統內蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化。
真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發生化學反應，腐蝕泵內零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗化性。
主要要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在真空壓力下真空泵的壓力。
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